硅单晶是一种可用于制作集成电路和半导体器件等的半导体材料，属于非金属元素，对于探测器级硅单晶、电路级硅单晶等电力电子器件及大功率晶体管都是可将会用到硅单晶，在进行微电子工业的加工过程中需要用到一定要求的纯水，如工业纯水的水质要求没有达到要求则会对产品的使用造成一定的影响，下面介绍关于硅单晶微电子工业用的水处理设备。

 

       该纯水设备可根根电子工业对于纯水的水质要求进行划分，纯水水质电阻率细分到0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm、18.2MΩ.cm等之间。

 

　　电子纯水处理设备由预处理系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统、RO反渗透主机系统等结构构成主要设备，其中预处理系统可根据当地的原水水质选择采用钠离子软化器、精密过滤器、多介质过滤器、活性碳过滤器等工艺。

 

　　水处理设备根据出水水质分为离子交换树脂、反渗透水处理设备与离子交换设备结合、反渗透设备与电去离子(EDI)设备结合三种主要的水处理工艺。

 

　　硅单晶微电子离子交换技术工艺流程：进水原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水对象。

 

　　采用反渗透技术作为预处理工艺，后续再采用离子交换技术，优势在于离子设备再生周期相对要长而且在耗费的酸碱方面比单纯采用离子树脂的方式要少很多。